Вакуумный ротари -союз

Вакуумный ротационный союз - это ключевое устройство, используемое для достижения герметичного соединения между стационарной частью и вращающейся частью в вакуумной системе. Он может поддерживать хорошую герметичность в высокой вакуумной или сверхвысокой вакуумной среде, позволяя валу или заготовку вращаться в вакуумной камере.
 

Преимущества

Высокая вакуумная герметизация
Вакуумный вращающийся соединение принимает высокую структуру механического уплотнения, а скорость утечки уплотнения может контролироваться при 1 × 10⁻⁹ PA · м³/с. По сравнению со стандартным стандартом 1 × 10⁻⁷ PA · M³/S, обычно используемым в отрасли, его производительность герметизации была улучшена на два порядка. Эта способность герметизации гарантирует, что сустав может по -прежнему стабильно работать в вакуумной среде 10⁻⁶ PA или выше, эффективно снижая риск инфильтрации внешнего газа в систему, расширяя цикл работы оборудования и снижая частоту технического обслуживания.

Хорошая механическая долговечность
В роторном соединении используются высокоскоростные стальные подшипники, которые имеют хорошую износостойкость. В экспериментальных условиях непрерывный срок службы работы такого типа подшипника может достигать 10 000 часов, что более чем в два раза больше, чем у обычных подшипников. Влияние потерь трения полностью рассматривается в дизайне продукта. Оптимизируя контактную поверхность и структуру смазки, он все еще может поддерживать стабильную работу со скоростью 1500 об / мин, что подходит для непрерывных рабочих сред.

Разумный контроль теплового расширения
Уплотнительный элемент использует материалы с коэффициентом термического расширения менее 5 × 10⁻⁶ / градуля, а скорость структурной деформации невелика в среде с резкими изменениями температуры. Эта функция гарантирует, что уплотнительное состояние не так легко влияет на тепловое напряжение в диапазоне рабочих температур -40 градусов до +150 степень, что обеспечивает тем самым долгосрочную стабильность запечатанного соединения. Эта производительность особенно важна для оборудования, которое необходимо использовать в горячих и холодных чередующихся и высокотемпературных вакуумных системах.

Широкий спектр приложений
Роторный сустав может работать в диапазоне среднего давления от вакуумного отрицательного давления до положительного давления 0,6 МПа, что охватывает различные потребности в промышленном применении. Его области применения включают в себя полупроводниковое оборудование, вакуумные системы покрытия, биофармацевтические препараты, экспериментальное оборудование научных исследований и т. Д. При соблюдении поставок стандартных продуктов также могут обеспечить индивидуальные решения для нестандартных размеров, материалов и форм интерфейса в соответствии с конкретной средой использования пользователя для повышения фактической адаптации и совместимости системы.